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Poster Session I

4:30 pm – 6:30 pm, Tuesday October 14 Session DT4 COEX, Lobby E
Topics:
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Influence of Probe Geometry on the Transmission Characteristics of Microwave Cutoff Probe

Poster 46
Presenter: Jae-Heon H Lee (한국항공대학교)
Authors: Hee Jung Yeom (Korea Research Institute of Standards and Science), Gwang-Seok Chae (Korea Aerospace University), Jung-Hyung Kim (Korea Research Institute of Standards and Science), Hyo-Chang Lee (Korea Aerospace University)

이 연구는 마이크로파 차단 프로브 기술을 사용하여 플라즈마 밀도 측정에 대한 프로브 형상의 영향을 조사합니다. 구체적으로, 프로브 팁 길이와 팁 간 거리의 변화가 서로 다른 피복 두께 조건에서 투과 스펙트럼과 차단 주파수에 어떤 영향을 미치는지 분석했습니다. 결과는 얇은 피복 조건에서 기하학적 매개변수가 최소한의 영향을 미친다는 것을 보여줍니다. 그러나 외피가 충분히 두꺼우면 구조적 효과로 인해 측정된 차단 주파수와 실제 플라즈마 주파수 사이에 최대 2%의 편차가 발생할 수 있습니다. 높은 측정 정확도를 보장하려면 팁 거리가 피복 너비의 5배 이상이고 프로브 팁 길이가 충분히 긴 것이 좋습니다. 이러한 결과는 플라즈마 진단에서 차단 프로브의 신뢰성과 정밀도를 개선하기 위한 실용적인 설계 지침을 제공합니다.

Funding acknowledgement

본 연구는 한국연구재단(NRF)의 소재혁신프로그램(연구비 2020M3H4A3106004)의 지원을 받았으며, 과학기술정보통신부와 R&D 융합 프로그램(연구비 지원번호. CRC-20–01-NFRI) 대한민국 국가과학기술연구위원회(NST) (ii) 한국산업기술평가관리원(보조금 제1415184167호) (iii) 한국표준과학연구원 (부여번호 KRISS GP2024-0012-04); (iv) 산업통상자원부(산업통상자원부)(보조금 제1415187722호, 1415188153호, 1415187709호) 및 한국반도체연구컨소시엄(한국반도체연구컨소시엄)(교부번호 00235950호, 00237058호).

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